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EFEM设备

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品牌：	ROBOSTAR
单价：	500000.00元/台
起订：	1 台
供货总量：	1 台
发货期限：	自买家付款之日起 90 天内发货
所在地：	上海
有效期至：	长期有效
最后更新：	2024-09-06 15:34
浏览次数：	4211

公司基本资料信息

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详细说明

拥有多款 Line-up EFEM
可搭载 1Port ~ 6Port LPM
可根据客户需求量身定制
可使用 FFU 差压联动 Mode
符合 SEMI Standard
EFEM是半导体制造工艺中Wafer处理设备的前端模块，负责Wafer的移动、上/下料、排序等工作，协助半导体制造工艺间的Wafer处理实现高效与稳定。

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