西班牙Sensofar平面度测量白光干涉仪S neox 0.65X,以优秀的横向和纵向分辨率测量平面度。S neox搭配0.65X物镜，具有最大视野的物镜和最高精度的载物台，在平面度、平行度和台阶高度测量方面提供了最佳的表现。Sensofar自己设计的0.65X迈克尔逊物镜旨在实现一个目的:以快速准确的方式测量平面度。密集采样、大视野和干涉测量的结合确保了所预期的效果。我们的采集软件直接连接到SensoPRO，这是QA和QC的*。通过我们的软件，测量结果以通过报告的形式呈现产品是否合格。SensoPRO基于 插件的数据分析算法提供了高度的灵活性。平面度分析由SensoPRO自动执行，它会根据ISO25178 标准来应用所有必需的过滤器，并计算高度参数。
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