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国产白光干涉仪

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所在地: 广东
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最后更新: 2023-05-10 09:12
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详细说明
国产白光干涉仪SuperViewW1是以白光干涉技术原理,对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。
 

产品功能

1)具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能;
2)具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能,粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别;
3)具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能;
4)具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能;
5)具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能;
6)具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能;
7)具备word、excel等数据报表导出功能。


SuperViewW1国产白光干涉仪分辨率0.1μm,重复性0.1%,应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。可应用于半导体制造及封装工艺检测、光学加工、汽车零部件、微纳材料及制造、3C电子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、高校科研院所等领域中。

SuperViewW1国产白光干涉仪优点

1、非接触式测量:避免物件受损。
2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-10mm。
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪:采用闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件:基于windows操作系统的用户界面,强大而快速的运算。
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