
产品功能
1)具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能;2)具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能,粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别;
3)具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能;
4)具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能;
5)具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能;
6)具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能;
7)具备word、excel等数据报表导出功能。

SuperViewW1国产白光干涉仪分辨率0.1μm,重复性0.1%,应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。可应用于半导体制造及封装工艺检测、光学加工、汽车零部件、微纳材料及制造、3C电子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、高校科研院所等领域中。
SuperViewW1国产白光干涉仪优点
1、非接触式测量:避免物件受损。2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-10mm。
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪:采用闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件:基于windows操作系统的用户界面,强大而快速的运算。