氩气热式气体质量流量
控制器AC-M100：中大流量规格热式气体质量流量控制器/质量流量计的通讯方式多样，可兼容：0-5V、4-20mA、RS485通讯模式，一键切换通讯信号，操作简单方便。主要是测量30SLM到100SLM的热式气体质量流量控制器或热式气体质量流量计，产品采用全数字架构，新型的传感制作工艺，更好的保证了产品的准确度和灵敏性。
氩气热式气体质量流量控制器AC-M100：正常工作压力范围可达：10MPa（100Bar），供电方式为+14V—﹢27V的宽频供电，能满足市面上绝大多数用户的使用要求和使用习惯。产品精度优于±1%F.S，响应速度优于2秒且流量值稳定速度也是极快的。阀体过流材质均选用品质良好的316L不锈钢。
数字通讯的中大流量规格热式气体质量
流量控制器/质量流量计，为满足高端用户对产品的要求，松盛测控的全系列热式气体质量流量控制器/质量流量计均采用进口产品标准标定，产品可与进口热式气体质量流量控制器/质量流量计直接对标。广泛应用于SPUTTER磁控溅射台、等离子刻蚀、石油化工、高校实验室、科研单位、航空航天、光伏行业、半导体行业、真空镀膜行业、光电产业到工业工具的表面镀膜、PVD、CVD、MOCVD、氧化、离子注入、精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、食品及制药产业、气相色谱仪等相关行业。
