LF420-S模拟型气体质量流量控制器/流量计
简要描述：用于对小流量气体的质量流量进行精密的测量和控制，具有精度高，稳定性好，模拟电路，可靠性高，安装简单，操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
LF420-S模拟型气体质量流量控制器/流量计产品特点：
精度高
稳定性好
模拟电路
响应速度快
LF420-S模拟型气体质量流量控制器/流量计产品用途：
广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
LF420-S模拟型气体质量流量控制器/流量计技术参数：|
产品型号 |
LF420-SC |
LF420-SM |
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满量程范围 |
SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500 SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 |
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量程比 |
控制器50:1 |
流量计100:1 |
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精度 |
±1.0%F.S |
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线性 |
±0.5%F.S |
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重复性 |
±0.2%F.S |
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阀门类型 |
常闭阀 |
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响应时间 |
≤1S-3S |
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工作压差 |
0.1...0.5Mpa |
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最大耐压 |
3MPa |
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工作环境温度 |
5...45℃ |
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泄漏率 |
1×10-8Pa.m3/s |
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通信信号 |
0-5V / 4-20MA |
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供电方式 |
24VDC（250mA） |
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密封材料 |
丁晴橡胶 氟橡胶（可选） |
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接头尺寸 |
3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8” |
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电器接头 |
DB9针 |
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